半導(dǎo)體用臭氧水去除有機物質(zhì)臭氧濃度需要達到多少
使用臭氧水可去除的物質(zhì)以及所需臭氧的濃度
利用臭氧的強氧化能力，可以實現(xiàn)分解并去除大量的雜質(zhì)。
根據(jù)雜質(zhì)的形狀與數(shù)量的不同，所需濃度也將有所變化，請參考下圖數(shù)據(jù)。
此外，如將稀氫氟酸與臭氧水同時使用，去除雜質(zhì)的效果將倍增。
半導(dǎo)體板式臭氧發(fā)生器 |
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